“目前进度怎么样?”他问道。
李由皱了皱眉,“还不是很顺利,当初我们学的是采用248nm的KrF准分子激光作为光源的第三代光刻机和采用了193nm的ArF准分子激光,的第四代光刻机。
所以光源上的理论还有所生疏,而且德国那边的仪器,他们给的不是最先进的那一款,还有储存环,我们国内的不是很……。”
顾青表示理解,叹了口气道:“这很正常,要达到国际先进水平不容易,但是我们还有一个研究部门正在进行改造,不论是仪器和储存环,这个月底就会给你们。
ASML1公司采用的是高能脉冲激光轰击液态锡靶,形成等离子体然后产生波长13.5纳米的EUV光源,功率约250瓦。
随着芯片工艺节点的不断缩小,对EUV光源功率的要求也将不断提升,估计会达到千瓦量级。
而基于SS1MB的EUV光源有望实现更大的平均功率,并具备向更短波长扩展的潜力,所以咱们这个SS1MB光源的前景是可以确定的。
你们别慌,前期的理论功课做好了,下个月的落地实验才会走得稳。”
李由点头笑了笑,“我知道,我们这边的研发人员每天都在生产工作完成后加班学习,咱们自己人干活,不需要看外人的表情,所以大家的动力都很足。”
顾青本来还想再聊一会儿,但是董琦的电话突然打了过来。
嗯,准确来说是打给半导体部门的办公室管理,然后找到的顾青。
顾青接过递来的电话。
“找我有事?”
“顾总,顾哥,我们的电话都快被打爆了!
除了合作伙伴外,还有国际组织对我们的仿生假肢技术表示感兴趣,并且想争取明天发放的一部分名额。”
“按照规矩来,还用我教你吗?”
“我知道要按照规矩来,可是美利坚方面也有高官在发声了。”
“他们发声管的到我们什么事?
你和老黄最近就不要出国了,留意下安全,明天的名额还是交给我们公司的系统处理。”