夜色,如同浓稠的墨汁,紧紧包裹着城市。只有零星几扇窗户还亮着灯,像倔强不肯睡去的眼睛。在远离城市喧嚣的一处高墙深院内,一栋不起眼的灰色建筑,却彻夜灯火通明。这里是“长庚计划”引进的张博士团队攻坚光刻机核心子系统的主战场。厚重的防尘门紧闭,将内部与外界隔绝成两个世界。
实验室:指尖下的黎明
实验室内,空气被恒温恒湿系统精确地控制着,带着一丝冰冷的金属气息。巨大的无尘操作台占据中心,上面布满了令人眼花缭乱的精密仪器:高功率激光源闪烁着幽蓝的光芒,复杂的镜组在伺服电机的驱动下进行着微米级的精密调整,真空腔体发出低沉的、持续不断的嗡鸣。空气中弥漫着臭氧和冷却液混合的独特气味。
张博士站在操作台前,身上穿着臃肿的防尘服,只露出一双布满血丝、却亮得惊人的眼睛。他已经连续工作了超过三十个小时,精神高度紧绷,仿佛一根拉到极限的弓弦。他紧盯着面前一块巨大的液晶屏幕,上面瀑布般流淌着海量的数据流和复杂的波形图。几个同样包裹严实的关键助手,如同雕塑般守在自己的监测仪器前,大气不敢出。
“第九百七十三次循环测试…启动!”张博士的声音透过口罩传出,带着沙哑的疲惫,却异常清晰。他的手指悬停在控制面板上方,微微颤抖了一下,随即用力按下启动键。
嗡——!
仪器内部传来一阵更加低沉、更加稳定的运转声。激光束在复杂的路径中精准穿行,经过层层镜片的反射、聚焦、调制,最终投射到真空腔体内那个极其精密的靶材上。屏幕上,代表能量稳定性的曲线开始跳动,代表定位精度的数值在疯狂闪烁后,逐渐趋向一个预设的、苛刻到近乎不可能的理想区间。
时间一分一秒地流逝。每一秒都像一个世纪那么漫长。
汗水浸湿了张博士内层的衣服,黏腻地贴在背上。他死死盯着那条代表系统稳定性的绿色指标线。过去的九百七十二次,它总是在某个临界点剧烈抖动,然后崩溃,宣告失败。这一次…
绿色的线条,在屏幕上以一种前所未有的平滑姿态延伸着。
一分钟…
五分钟…
十分钟!
那条线,依旧稳稳地停留在绿色的安全区域!纹丝不动!
“报告!能量波动率0.003%,低于阈值0.005%!”
“报告!定位精度误差0.7纳米,达到理论值极限!”
“报告!系统温度稳定,所有冗余模块无异常!”
助手们的声音一个接一个响起,带着难以置信的颤抖和压抑到极致的狂喜。
张博士没有动,他依旧死死盯着屏幕。直到那条绿色的线,稳稳地走完了预设的、代表长时间稳定运行的完整测试周期——整整三十分钟!
时间到。
屏幕右下角,一个巨大的绿色“PASS”标志,无声地跳了出来,取代了之前无数次刺眼的红色“FAIL”。